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電子廠廠房潔凈環(huán)境檢測 第三方檢測-CMA--安衡檢測
目前對于大規(guī)模集成電路生產(chǎn)車間空調(diào)系統(tǒng)具有以下特點(diǎn):1、大規(guī)模集成電路工藝布置多采用開放環(huán)境結(jié)合微環(huán)境的方法,在保證產(chǎn)品質(zhì)量的同時(shí),還可達(dá)到減少建設(shè)投資、降低運(yùn)行費(fèi)用的目的。
風(fēng)速風(fēng)量和換氣次數(shù)的檢測:主要是測試潔凈室或潔凈設(shè)施的送風(fēng)量、平均風(fēng)俗、送風(fēng)均勻性、氣流流向及流型等項(xiàng)目。無菌車間內(nèi)的潔凈度主要是靠潔凈空調(diào)送入足夠量的經(jīng)過過濾的潔凈空氣,將室內(nèi)的產(chǎn)生的不潔凈空氣稀釋、替換掉。而換氣次數(shù)越大,越能加快車間內(nèi)不潔凈空氣的稀釋速度,從而更快的提高車間內(nèi)的潔凈度。至于車間內(nèi)要維持怎樣的風(fēng)速風(fēng)量和換氣次數(shù)要根據(jù)潔凈度來設(shè)置。
電子廠廠房潔凈環(huán)境檢測 電子廠凈化工程不一樣級別氣體潔凈度等級的空氣過濾網(wǎng)的采用、布局關(guān)鍵點(diǎn):針對300000級空氣過濾解決,可選用亞高效過濾器替代高效送風(fēng)口;氣體潔凈度等級100級、1000級、10000級及100000級的空氣過濾解決,應(yīng)選用初、中、高效率三級過濾裝置;中效或高效率空氣過濾網(wǎng)宜按低于或相當(dāng)于額定值排風(fēng)量采用;中效空氣過濾網(wǎng)宜集中化設(shè)定在凈化室內(nèi)空氣調(diào)整的正壓力段;高效率或亞高效率空氣過濾網(wǎng)宜設(shè)定在凈化室內(nèi)空氣調(diào)整系統(tǒng)軟件的尾端。
2、風(fēng)速:風(fēng)速的檢測目的在于確定一定時(shí)間內(nèi)的送風(fēng)量和排風(fēng)量,以便得到實(shí)時(shí)的數(shù)據(jù)對通風(fēng)系統(tǒng)進(jìn)行合理的調(diào)節(jié)以達(dá)到需求的生產(chǎn)環(huán)境。
照度:室內(nèi)照度的檢測應(yīng)為測定出局部照明之外的一般照明的照度,室內(nèi)照度的檢測可采用便攜式照度計(jì),照度計(jì)的小刻度不應(yīng)大于2lx。室內(nèi)照度必須在室溫趨于穩(wěn)定之后進(jìn)行,并且熒光燈已有100h以上的使用期,檢測前已點(diǎn)燃15min以上,白熾燈已有10h以上的使用期,檢測前已點(diǎn)燃5min以上。測點(diǎn)距地面高0.8m,按1m~2m間距布點(diǎn),30m2以內(nèi)的房間測點(diǎn)距墻面0.5m,過30m2的房間,測點(diǎn)離墻1m。
3、壓力:在凈化工程內(nèi)檢測的壓力主要分為大氣壓力和靜壓差。大氣壓力即通常意義上的氣壓,很多行業(yè)對于生產(chǎn)環(huán)境的氣壓有著一定的要求。而靜壓差則需要在封閉的電子無塵車間室內(nèi)進(jìn)行檢測。
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